《微細加工技術》創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。是國家一級檢索刊物，已連續9年被美國工程信息公司Ei數據庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊（光盤版）》、《中國學術期刊綜合評價數據庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數據庫》來源期刊。

《微細加工技術》目前已停刊，具體復刊時間以雜志社官方消息為準。