《真空科學與技術學報》（月刊）創刊于1981年，由中國真空學會主辦。本刊是全國中文核心期刊，長期被EI、CA、SA等國際蓍名檢索系統收錄，已全文上網。本刊通過中國圖書貿易總公司代理向國外發行。目前在美國、英國、德國、荷蘭及我國的香港與臺灣地區均有訂閱，有一定的影響力。在國內各高等院校科學院所涉及到真空科學與技術論文都大多數向本刊投稿，已成為國內外關學者發表高水平科研成果的主要載體。

《真空科學與技術學報》主要刊登真空技術、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。